以下是關于氟化氫(HF)分析儀的原理、操作及維護的總結,供參考:
一、氟化氫分析儀的工作原理
1. 常見檢測原理
電化學傳感器法:
HF氣體擴散至傳感器內,發生氧化/還原反應,產生與濃度成正比的電流信號。適用于低濃度檢測(0-10 ppm)。
紅外吸收法(NDIR):
利用HF分子對特定紅外波段的吸收特性,通過測量吸收光強計算濃度。適用于高精度、高濃度檢測。
激光光譜法(TDLAS):
可調諧激光器掃描HF吸收線,實現高選擇性、快速響應的在線監測。
化學熒光法:
少數儀器采用HF與特定試劑反應產生熒光信號,靈敏度高但維護復雜。
2. 輔助系統
采樣系統(伴熱管線,防止HF冷凝)、流量控制、溫度/壓力補償、數據記錄模塊。
二、操作流程
1. 開機前檢查
確認傳感器有效期(電化學傳感器通常壽命1-2年)、氣路密封性、過濾器清潔。
伴熱系統(若環境溫度低)需預熱至80-120℃,避免HF吸附。
2. 校準
零點校準:通入高純氮氣或潔凈空氣,調整零點。
量程校準:使用已知濃度的HF標準氣體(如5 ppm),校準線性度。
校準頻率:建議每周一次(高精度場合)或每月一次(常規監測)。
3. 采樣測量
啟動采樣泵,確保流量穩定(通常0.5-1 L/min)。
觀察實時數據,異常值需復測或手動校準。
4. 關機
用惰性氣體(如氮氣)吹掃氣路,防止殘留HF腐蝕部件。
三、日常維護要點
1. 傳感器維護
電化學傳感器避免長期暴露于高濃度HF或有機溶劑蒸氣。
NDIR光學窗口定期清潔(無水乙醇擦拭),防止灰塵/冷凝影響。
2. 采樣系統維護
更換顆粒物過濾器(1-3個月/次),檢查伴熱管線無破損。
酸性環境易腐蝕管路,建議選用PTFE材質。
3. 故障處理
讀數漂移:重新校準;檢查傳感器是否老化。
無信號輸出:確認電源、氣路堵塞、泵是否工作。
響應延遲:檢查流量或伴熱溫度是否不足。
4. 安全注意事項
HF具強腐蝕性,維護時需佩戴防毒面具、耐酸手套。
廢液/廢傳感器按危險廢物處理。
四、總結
選型建議:低濃度優先電化學法,高精度選NDIR或激光法。
關鍵點:定期校準、保持采樣系統干燥清潔、注意傳感器壽命。
記錄:維護日志需包含校準數據、故障現象及處理措施。
根據具體儀器型號(如SIEMENS、HORIBA等品牌),需結合廠家手冊調整操作參數。